ZhenAn, hverjar eru grunnaðferðirnar sem almennt eru notaðar við kornprófun á markefni?

ZhenAn, hverjar eru grunnaðferðirnar sem almennt eru notaðar við kornprófun á markefni?

Markefni eru venjulega fjölkristalluð, með kornastærðir á bilinu míkron til millimetrar. Því fínni sem kornin eru, því stærra er kornmörkin og því meiri áhrif hafa á frammistöðu. Fyrir sama markefni hafa skotmörk með fínkornum hraðari sputtering hraða en skotmark með grófkornum. Markmið með minni kornastærðarbreytingum (jafnri dreifingu) framleiða jafnari þykktardreifingu í sputtered filmum. Rannsóknir hafa leitt í ljós að ef kornastærð títanmarks er stjórnað undir 100 μm og breytileika í kornastærð er haldið innan 20%, er hægt að bæta gæði sputtered filmunnar sem myndast. Veruleg framför.

Þrjár grunnaðferðir til að prófa markkornstærð
1. Samanburðaraðferð: Samanburðaraðferðin krefst ekki talningar á kornum eða hlerana. Þegar borið er saman við staðlaða röð af einkunnatöflum sýnir kornastærðarmat með samanburðaraðferð almennt ákveðið frávik (±0,5 stig). Endurtakanleiki og endurtakanleiki matsgilda er venjulega ±1 stig.

2. Flatarmálsaðferð: Flatarmálsaðferðin telur fjölda korna innan þekkts svæðis og notar fjölda korna á hverja flatarmálseiningu til að ákvarða kornastærðareinkunn. Nákvæmni þessarar aðferðar er fall af útreiknaðri kornastærð og með réttri talningu er hægt að ná nákvæmni upp á ±0,25 stig. Niðurstöður svæðisaðferðarinnar eru óhlutdrægar, með endurgerðanleika sem er minna en ±0,5 stig. Lykillinn að því að ákvarða kornastærð með flatarmálsaðferðinni liggur í því að telja korn sem afmarka kornamörkin skýrt.

3. Skurðskurðaraðferð: Fjöldi skurðpunkta er reiknaður með því að telja fjölda skurðpunkta þar sem próflínuhluti (eða rist) af þekktri lengd sker kornamörkin. Kornastærðareinkunn er ákvörðuð með því að nota fjölda skurða á hverja lengdareiningu. Nákvæmni stöðvunaraðferðarinnar er fall af fjölda stöðvunar eða stöðvunar sem reiknaður er út og hægt er að ná henni með skilvirkri tölfræðilegri greiningu. ±0,25 stigs nákvæmni. Niðurstöður skurðaðferðarmælinga eru hlutdrægar-lausar og endurgerðanleiki og endurgerðanleiki eru minni en ±0,5 stig. Fyrir sama nákvæmni krefst skurðaraðferðin ekki nákvæmrar merkingar á skurðpunktum eða skurðarnúmerum, þannig að hún er hraðari en svæðisaðferðin.