Hvað er málmmarkmið?

Hvað er málmmarkmið?

Markefni er eitt helsta efnið til að útbúa þunnar filmur. Það er aðallega notað í samþættum hringrásum, flatskjám, sólarsellum, upptökumiðlum, snjallgleri osfrv., og hefur miklar kröfur um efnishreinleika og stöðugleika.

Vinnuregla sputtering markefnis: Sputtering er ein helsta tæknin til að útbúa þunnfilmuefni. Það notar jónir sem myndast af jónagjafa til að hraða og safnast saman í lofttæmi til að mynda háhraða orkujóngeisla til að sprengja á fast yfirborðið. Jónirnar og atómin á föstu yfirborðinu skiptast á hreyfiorku sem veldur því að atómin á föstu yfirborðinu yfirgefa fasta yfirborðið og setjast á yfirborð undirlagsins. Hið efni sem sprengt var á er skotmarksefnið.

Þróunartilhneiging markefna er: hár sputtering hraði, kornstefnustjórnun, stór stærð og hár-hreinn málmur.

Markefnið er soðið með „target blank“ og „bakplötu“.

(1) Markeyðuefnið er markefnið sem háhraðajónageislan sprengir á lofti. Það er kjarnahluti sputtering markefnisins og felur í sér há-hreinleika málms og kornstefnustýringar. Meðan á sputtering húðunarferlinu stendur, eftir að jónir hafa högg á markeyðuna, er yfirborðsatóm þess sputtered og dreifð og sett á undirlagið til að mynda rafræna þunnt filmu.

(2) Bakplatan gegnir stóru hlutverki við að festa sputtering markið, sem felur í sér suðuferli. Þar sem málmar með mikla-hreinleika hafa lítinn styrk, þarf að setja sputtermarkið í sérstaka vél til að ljúka sputtering ferlinu. Vélin er í mikilli-spennu, miklu-tæmi. Þess vegna þarf að tengja sputtering markeyðuna af ofur-há-málmi við bakplötuna með mismunandi suðuferlum. Bakplatan þarf að hafa góða raf- og hitaleiðni.