Tæknilegir þættir sem hafa áhrif á plasmaúðun fyrir sputtering target undirbúning

Plasma úðun notar plasma loga til að hita og bræða úðaduftið og mynda húð. Plasma úðun notar venjulega Ar eða G gas, með 5% til 10% viðbætt Ar gas. Gasið fer inn í -bogalaga svæði rafskautssvæðisins, þar sem það er hitað og jónað til að mynda plasma. Kjarnahitastigið nær venjulega yfir 15.000 gráður F. Málmdufti eða ó-málmdufti er sett í plasmastrauminn, hitað í hálf-bráðið, bráðið eða uppgufað ástand. Höggkrafturinn setur duftið á undirlagið, sem leiðir til skotmarka með ýmsum virkni. Eftirfarandi tæknilegir þættir hafa áhrif á virkni plasmaúðunar til að undirbúa sputtering mark:

1. Arc Power

Of mikill ljósbogakraftur eykur plasmajónunarstigið og logahitastigið, hugsanlega gufar upp úðaða efnið og breytir húðunarsamsetningunni. Of mikill kraftur leiðir til ófullnægjandi upphitunar á duftagnunum, sem leiðir til lítillar viðloðun lags, hörku og skilvirkni útfellingar.

2. Powder Supply System

Hraði duftgjafa ætti að vera í samræmi við inntaksafl. Almennt séð nær duftafhending í miðju logans ákjósanlegri upphitun og hæsta hraða.

3. Úðafjarlægð og úðahorn

Eiginleikar úðaða efnisins og húðun þess eru mjög viðkvæm fyrir úðafjarlægðinni. Ef úðafjarlægðin er of stór mun hitastig og hraði duftsins lækka, sem dregur verulega úr bindistyrk og úðavirkni. Ef úðafjarlægðin er of lítil verður yfirborðshiti undirlagsins of hátt, sem hefur áhrif á viðloðun lagsins. Ef hitastig undirlagsins leyfir er mælt með minni úðafjarlægð. Sprautuhornið ætti almennt að vera meira en 45 gráður. Minni úðahorn mun valda „skuggaáhrifum“ sem leiðir til tómarúma í húðinni og veldur lausri húðun.

4. Stýring undirlagshita

Áður en úðað er skal forhita vinnustykkið í tilskilið úðahitastig. Notaðu síðan kælingarráðstafanir eins og loftstrauma til að halda stöðugu hitastigi.

5. Spray Pressure

Lágþrýstingsplasmaúðun (einnig kölluð lofttæmiplasmaúðun) er almennt notuð við úðun á málmefnum. Sprautun fer fram í stjórnað lofthólf með þrýstingi á bilinu 4 til 40 kPa. Vegna þess að jónaða vinnugasið þenst út og kastast út í lágþrýstingslofti, getur strókahraðinn náð yfirhljóðshraða, sem gerir það hentugt til að úða oxunar-næmum málmum. Fyrir oxíðkeramik er hægt að nota vatns-stöðugða plasmaúðun, sem býður upp á mikla orkuþéttleika, stöðugan bruna og mikla úðavirkni.