Lýsing

Tæknilegar þættir

Hlutverk tantaldeigla í uppgufun rafgeisla

Tantaldeiglur fyrir E-geislagjafa eru nákvæmnis-hannaðar ílát sem notuð eru í rafeindageislauppgufunarkerfi, þar sem mikill varmastöðugleiki og ofurlítil útgasun eru nauðsynleg til að viðhalda lofttæmi og hreinleika útfellingar.

Í E-geislaútfellingu gufar einbeittur rafeindageisli upprunaefni inni í deiglunni og gufan sem myndast þéttist á undirlag sem þunnar filmur. Tantal er valið vegna þess að hátt bræðslumark þess leyfir uppgufun eldföstra málma (td W, Mo, Ta sjálft) og oxíða án þess að deiglan bili. Lágur gufuþrýstingur þess við vinnuhitastig (<10⁻⁸ Pa at 2500 °C) prevents crucible material from contaminating the deposited film. Additionally, tantalum's low outgassing rate (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) helps sustain UHV conditions (<10⁻⁷ Pa) crucial for high‑performance optics and semiconductor coatings.

Eign	Gildi / svið	Mikilvægi í E-Beam Source Operation
Bræðslumark	3017 gráðu	Leyfir uppgufun efna með hábræðslu-
Gufuþrýstingur @ 2500 gráður	<10⁻⁸ Pa	Fjarlægir mengun deiglugufu
Útgangshlutfall (UHV)	<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²	Viðheldur lofttæmisgæðum fyrir hreina útfellingu
Varmaleiðni	57 W/m·K	Tryggir jafna hitun og dregur úr heitum blettum

Hönnunarsjónarmið fyrir E-Beam Tantal deiglur

Deiglur eru framleiddar með þunnum veggjum (1–3 mm) til að hámarka varmaflutning frá rafeindageislanum en lágmarka geymdan varmamassa. Rúmfræði er oft sívalur með ávölum botni til að forðast skörp horn þar sem bráðið efni gæti staðnað eða ofhitnað á staðnum. Til að standast skemmdir af völdum-hárorku rafeinda eru sumar hönnun með vatnskældum jakka eða nota deiglur með sérsniðinni kornastefnu til að dreifa rafeindaáhrifum jafnt.

Notkunarhylki í iðnaði fyrir E-Beam tantal deiglur

Optísk húðun– Uppgufun TiO₂, Al₂O₃ og SiO₂ fyrir linsur og leysispegla sem krefjast hás brotstuðulsstýringar.

Öreindatækni– Útfelling hindrunarlaga (td TaN) og samtengdra málma þar sem hreinleiki hefur bein áhrif á áreiðanleika tækisins.

Skjátækni– Samræmd uppgufun indíum tinoxíðs (ITO) fyrir gagnsæ leiðandi húðun.

Samhæfni þeirra við sjálfvirk fóðurkerfi og langur endingartími gerir þau að staðalbúnaði í húðunarhólf með mikilli afköst fyrir byggingargler, nákvæmnisljóstækni og háþróað rafrænt hvarfefni.

Evaporation material 99.95% 3N5 tantalum crucible for electron beam evaporator

Uppgufunarefni 99,95% 3N5 tantal deigla fyrir rafeindageisla uppgufunartæki

Tantalum Parts Processing Plant Customized Different Size Bright Grey tantalum Crucible For Melting Process Parts

Vinnslustöð fyrir tantalhluta sérsniðin mismunandi stærð skærgrá tantaldeigla fyrir bræðsluhluta

Customized R05200 Ta 99.95% Pure Polished Tantalum Crucible tantalum carbide per kg price

Sérsniðin R05200 Ta 99,95% hreint slípað tantal Deigla tantalkarbíð á hvert kg verð

maq per Qat: tantal deiglur fyrir e-geislagjafa, Kína tantal deiglur fyrir e-geislagjafa framleiðendur, birgja, verksmiðju